SF6، یا سلفر hexafluoride، ایک گیس ہے جو عام طور پر خشک اینچنگ میں استعمال ہوتی ہے، جو بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹر پروڈکشن کے عمل میں سلکان اینچنگ کے لیے استعمال ہوتی ہے۔ SF6 گیس کا ایک آکٹہیڈرل ڈھانچہ ہے، جس میں ایک مرکزی سلفر ایٹم ہے جس کے چاروں طرف چھ فلورین ایٹم ہیں۔ اس کی غیر قطبی خصوصیات اسے ہائی وولٹیج برقی آلات میں ایک موصل گیس بناتی ہیں۔ SF6 کی طبعی خصوصیات میں بے رنگ، بو کے بغیر، غیر آتش گیر، غیر زہریلا، موصلیت، ہوا سے زیادہ بھاری، ٹھنڈک کی صلاحیت، زیادہ ڈائی الیکٹرک طاقت، تھرمل استحکام، اور پانی میں حل پذیری لیکن غیر قطبی نامیاتی سالوینٹس میں حل پذیری شامل ہیں۔
کیمیائی خصوصیات کے لحاظ سے ، SF6 کمرے کے درجہ حرارت پر دوسرے مادوں کے ساتھ مشکل سے رد عمل کا اظہار کرتا ہے ، لیکن مضبوط الٹرا وایلیٹ لائٹ کے تحت گل جاتا ہے۔
SF6 عام طور پر صنعت کے ذریعہ تیار کیا جاتا ہے اور فطرت میں اس کا مواد بہت چھوٹا ہے۔ SF6 کی پیداوار کے لئے رد عمل مساوات یہ ہے:
2 CoF₃ + SF₄ + [Br₂] → SF₆ + 2 CoF₂ + [Br₂]
جب SF₄ ، Cof₃ اور Br₂ ایک ساتھ مل جاتے ہیں اور 100 ڈگری پر گرم ہوجاتے ہیں تو ، ان کے مابین ایک رد عمل ہوتا ہے۔ اس رد عمل میں ، SF₄ اور COF₃ کا ایک حصہ SF₆ اور COF₂ تیار کرنے کے لئے رد عمل ظاہر کرتا ہے۔ برومین کو رد عمل میں نہیں کھایا جاتا ہے ، یہ صرف ایک اتپریرک کے طور پر کام کرتا ہے۔
کیا SF6 خطرناک ہے؟
اگرچہ SF6 اپنی خالص حالت میں غیر زہریلا ہے ، لیکن یہ آکسیجن کو ہوا سے بے گھر کردے گا ، اور ہوا میں 19 فیصد سے زیادہ حجم کی حراستی دم گھٹنے کا سبب بنے گی۔ لہذا ، ایس ایف 6 لیک کا بروقت پتہ لگانا اور سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں مناسب احتیاطی اقدامات کرنا بہت ضروری ہے۔
سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں SF6 کا استعمال
SF6 بڑے پیمانے پر سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں استعمال ہوتا ہے۔ سلکان اینچنگ کے عمل میں، SF6 کو مرکزی اینچنگ گیس کے طور پر استعمال کیا جاتا ہے، اور یہ پیدا ہونے والی غیر مستحکم گیسوں SF4 اور C4F8 کے ساتھ مل کر گہری سلکان اینچنگ حاصل کرنے کے لیے کام کرتی ہے۔ اس کے علاوہ، SF6 اکثر Mo اور W دھاتوں کی خشک اینچنگ کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، جو ان دھاتوں کے ساتھ رد عمل ظاہر کر کے اتار چڑھاؤ والے ہیکسا فلورائیڈز MoF₆ اور WF₆ پیدا کرتا ہے۔ اگرچہ SF6 ایلومینیم کی اینچنگ کے لیے ترجیحی گیس نہیں ہے، تاہم اسے Cl₂ جیسی گیسوں کے ساتھ ملا کر ایلومینیم کی اینچنگ کی شرح کو بڑھانے کے لیے معاون گیس کے طور پر استعمال کیا جا سکتا ہے۔
سلیکن اینچنگ
سلیکون اینچنگ کے مرحلے میں، صرف نیچے کا سلیکون جہاں سے گزرنے والی فلم کو ہٹا دیا گیا ہے، کو اینچ کیا جاتا ہے۔ SF6 گیس متعارف کرائی گئی ہے، اور SF6 کو پلازما میں الگ کر دیا گیا ہے تاکہ مختلف قسم کے گلنے والی مصنوعات تیار کی جا سکیں، بشمول انتہائی فعال فلورین ایٹم (F)۔
SF6-->SF4+F2-->SF2+2F2-->F+...
پیدا ہونے والے فلورین ایٹم سلکان ٹیٹرافلوورائیڈ (SiF4) پیدا کرنے کے لیے سلیکون کی سطح کے ساتھ رد عمل ظاہر کرتے ہیں، یہ ایک غیر مستحکم مرکب ہے جو آسانی سے چیمبر سے خارج ہو جاتا ہے۔
Si+4F-->sif4
نیچے گزرنے والی پرت اینچنگ
اس مرحلے پر ، سائیڈ وال اور نیچے دونوں پر ایک گزرنے والی پرت تشکیل دی جاتی ہے۔ تاہم ، ہم صرف سائیڈ وال پر گزرنے والی پرت کو رکھنا چاہتے ہیں تاکہ سائیڈ وال کو کھڑے ہونے سے بچایا جاسکے ، لیکن ہمیں نیچے کی طرف کھڑا کرنے کے لئے نیچے کی طرف جانے والی پرت کو ہٹانے کی ضرورت ہے۔ لہذا ، نچلے حصے میں گزرنے والی پرت پر حملہ کرنے کے لئے اس وقت SF6 گیس متعارف کروائی جائے گی۔ نچلے حصے میں گزرنے والی پرت کے غائب ہونے کے بعد ، SF6 سلیکن کو کھڑا کرتا رہتا ہے ، اور سائیکل خود کو دہراتا ہے ، جیسے کبھی نہ ختم ہونے والا لوپ۔
چین میں ون اسٹاپ Sf6 سلفر ہیکسا فلورائیڈ فیکٹری
سلفر ہیکسفلوورائڈ ایس ایف 6 گیس کے بارے میں اپنی انکوائری ہمیں ہمارے پاس بھیجیں!
ہم آپ کی خریداری کی ضروریات کو پورا کرنے کے لئے اعلی معیار والے SF6 گیس اور خدمات فراہم کریں گے۔
ابھی انکوائری بھیجیں۔
