سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ، ویفر کی صفائی چپ کی پیداوار اور کارکردگی کا تعین کرنے والے ایک انتہائی اہم اقدامات میں سے ایک ہے۔ چونکہ ٹکنالوجی کے نوڈس سکڑتے رہتے ہیں ، صفائی کے عمل کی ضروریات غیر معمولی سطح پر پہنچ چکی ہیں۔ اگرچہ روایتی آر سی اے ویفر کی صفائی گیلی صفائی کا سنگ بنیاد بنی ہوئی ہے {{2} in غیر نامیاتی آلودگیوں اور ذرات - کو ہٹانے کے لئے مؤثر} - جب پیچیدہ نامیاتی اوشیشوں سے نمٹنے اور نازک ڈھانچے کو خشک کرنے کے دوران اسے اہم چیلنجوں کا سامنا کرنا پڑتا ہے۔
یہ وہ جگہ ہے جہاں اعلی - پرفارمنس ہائیڈرو فلوورویتھر (HFE) اپنی قدر کو ثابت کرتا ہے۔ جدید سیمیکمڈکٹر صفائی کے عمل میں ایک لازمی خاص سالوینٹ کے طور پر ، HFE ایک عین مطابق ، ماحولیاتی طور پر تعمیل اور انتہائی موثر حل پیش کرتا ہے۔ اس مضمون میں روشنی ڈالی گئی ہے کہ کس طرح HFE 347 سیمیکمڈکٹر ویفر کی صفائی کو آگے بڑھا سکتا ہے ، جو ایک طاقتور تکمیل کے طور پر کام کرتا ہے اور روایتی طریقوں میں اپ گریڈ کرسکتا ہے۔
روایتی صفائی اور HFE کے اسٹریٹجک کردار کی حدود
کلاسیکی آر سی اے ویفر صفائی کا عمل اعلی - درجہ حرارت ، اعلی - طہارت کے پانی کے کیمیائی حل (جیسے ، ایس سی -1 ، ایس سی -2) پر انحصار کرتا ہے۔ اگرچہ آئنوں ، دھاتی آلودگیوں اور ذرات کو ہٹانے میں عمدہ ، اس عمل میں دو موروثی حدود ہیں:
مخصوص نامیاتی آلودگیوں جیسے فوٹوورسٹسٹ اوشیشوں ، ویکیوم پمپ آئل ، سلیکون چکنائیوں ، اور صحت سے متعلق اجزاء سے جدید چکنا کرنے والے مادے کے خلاف محدود افادیت۔
"پانی" خشک کرنے والا چیلنج: پانی کی اونچی سطح کا تناؤ حتمی خشک ہونے والے مرحلے کے دوران ایک اہم خطرہ ہوتا ہے ، جس کی وجہ سے اکثر پیٹرن کے خاتمے اور واٹر مارک کی باقیات ہوتی ہیں ، خاص طور پر اعلی - پہلو - تناسب ڈھانچے پر۔
HFE 347 ، ایک اعلی درجے کی ہائیڈرو فلوروئٹر سالوینٹ کی حیثیت سے ، ان درد کے نکات کو براہ راست اپنی منفرد فزیوکیمیکل خصوصیات کے ذریعے حل کرتا ہے ، جو - گیلے صفائی میں "صحت سے متعلق خشک - کے لئے مثالی میڈیم کے طور پر پیش کرتا ہے۔
ویفر کی صفائی میں HFE 347 کے سات کلیدی فوائد
HFE 347 کو اپنے ویفر کی صفائی کے عمل میں ضم کرنا مندرجہ ذیل بنیادی فوائد فراہم کرتا ہے:
"صفر - عیب" کے نتائج کے لئے اعلی خشک کرنے والی کارکردگی
انتہائی کم سطح کے تناؤ اور اعلی اتار چڑھاؤ کے ساتھ ، HFE 347 باقی باقیوں کے بغیر مکمل طور پر بخارات بن جاتا ہے ، بنیادی طور پر پیٹرن کے خاتمے اور واٹر مارکس - پوسٹ کے ساتھ ناقابل تسخیر نتیجہ - rca صفائی پانی خشک کرنے کے ساتھ۔
عمدہ مادی مطابقت
نرمی پر نرمی ، دھاتیں ، سیرامکس اور زیادہ تر پولیمر ، یہ سنکنرن یا نقصان کو روکتا ہے ، صفائی کے عمل کو یقینی بنانا نئے نقائص کو متعارف نہیں کرتا ہے۔
نشانہ بنا ہوا صفائی کی طاقت
پی ایف پی ای (پرفلووروپولیتر) ویکیوم پمپ کے تیل ، چکنائیوں ، کچھ فوٹوورسٹسٹ اوشیشوں ، اور نامیاتی ذرات کے لئے غیر معمولی گھلنشیلتا ان مخصوص آلودگیوں کو دور کرنے کے لئے انتخاب کا سالوینٹ بناتا ہے۔
اعلی عمل میں لچک
وسرجن ، سپرے ، بخارات کی خرابی ، اور دیگر ویفر صفائی کے طریقوں کے ساتھ ہم آہنگ۔ خاص طور پر صحت سے متعلق حصوں اور چیمبر کے اجزاء کو آف لائن صاف کرنے کے لئے موزوں ہے ، جو ویفروں میں آلودگی کی منتقلی کو روکتا ہے۔
ماحولیاتی اور حفاظت کی تعمیل
سخت ماحولیاتی ضوابط کے ساتھ صف بندی کرتے ہوئے صفر او ڈی پی (اوزون کی کمی کی صلاحیت) اور کم جی ڈبلیو پی (گلوبل وارمنگ کی صلاحیت) کی خصوصیات ہیں۔ اس کی کم زہریلا اور غیر - آتشزدگی سے آپریشنل حفاظت میں اضافہ ہوتا ہے۔
Azeotrope تشکیل کی صلاحیت
الکوحل (جیسے ، آئی پی اے) کے ساتھ ایزوٹروپک مرکب تشکیل دے سکتا ہے ، جس سے "سنگل- مرحلہ" صاف - اور - خشک عمل کو چالو کیا جاسکتا ہے: نامیاتی آلودگیوں کو پہلے تحلیل کریں ، پھر مکمل خشک ہونے کے لئے خالص HFE 347 کے ساتھ ڈس پلیس ، نمایاں طور پر ورک فلو کو ہموار کرتے ہیں۔
پانی اور گندے پانی کے استعمال کو کم کیا
ایک غیر - پانی کے سالوینٹ کی حیثیت سے ، HFE 347 الٹرا پیور پانی پر انحصار کم کرتا ہے اور اعلی - لاگت کے گندے پانی کے علاج کا بوجھ کم کرتا ہے۔
HFE 347 کو اپنے صفائی کے ورک فلو میں ضم کرنا
HFE 347 کو آر سی اے کی صفائی کے عمل کو تبدیل کرنے کے لئے ڈیزائن نہیں کیا گیا ہے ، بلکہ اس کی تکمیل کے لئے:
پہلے سے - صفائی ستھرائی کے مرحلے کے طور پر: کراس - آلودگی کو روکنے کے لئے ویفر کیریئرز ، روبوٹ بازو ، یا چیمبر کے حصوں سے نامیاتی آلودگیوں کو ہٹا دیتا ہے۔
بطور پوسٹ - عمل صاف: مخصوص نامیاتی اوشیشوں اور ذرات کو ہٹانے کے لئے لتھوگرافی ، اینچنگ ، یا سی ایم پی کے بعد موثر ، خاص طور پر پانی پر - حساس ڈھانچے پر۔
خشک کرنے والے میڈیم کے طور پر: جدید پانی کی کلین کے بعد بے گھر ہونے کے لئے استعمال کیا جاتا ہے {{0} advanced اعلی درجے کے نوڈ کے نمونوں کی حفاظت کے لئے ایک قابل اعتماد طریقہ۔
آر سی اے کے معیاری گیلے صفائی اور HFE سالوینٹ صفائی کے مابین موازنہ
| خصوصیت | آر سی اے معیاری گیلے صفائی | HFE سالوینٹ صفائی |
|---|---|---|
| میڈیم | پانی کے کیمیائی حل (مضبوط تیزاب ، اڈے ، آکسائڈائزر) | نامیاتی فلورویتھر سالوینٹ (غیر - پانی) |
| بنیادی طریقہ کار | مضبوط کیمیائی رد عمل (آکسیکرن ، پیچیدگی ، اینچنگ) | اہم جسمانی تحلیل ، کمزور کیمیائی تعامل |
| ہدف آلودگی | غیر نامیاتی آلودگی (دھات کے آئنوں ، ذرات) ، نامیاتی اوشیشوں | مخصوص نامیاتی آلودگی (چکنائی ، رال ، فوٹوورسٹ ، وغیرہ) |
| خشک کرنے والا چیلنج | اہم چیلنج: پانی کی اعلی سطح کا تناؤ واٹر مارکنگ اور پیٹرن کے خاتمے کا باعث بنتا ہے ، جس میں خشک کرنے کی خصوصی تکنیک کی ضرورت ہوتی ہے جیسے آئی پی اے وانپ خشک ہونے یا مارنگونی خشک ہونے والی۔ | موروثی فائدہ: کم سطح کا تناؤ اور اعلی اتار چڑھاؤ اوشیشوں کو قابل بناتا ہے - مفت خود - خشک۔ |
| ایکو - دوستی اور حفاظت | اعلی - طہارت کیمیکلز اور الٹرا پیور پانی کی بڑی مقدار کا استعمال کرتا ہے ، جس سے علاج کے لئے کافی گندے پانی پیدا ہوتا ہے۔ | آسان کیمیکل مینجمنٹ ، اگرچہ وی او سی کے اخراج پر غور کرنے کی ضرورت ہے۔ |
HFE-347 کی بنیادی معلومات
|
کیمیائی نام: |
1،1،2،2-tetrafluoroethyl 2،2،2-trifluoroethyl ایتھر |
|
سی اے ایس: |
406-78-0 |
|
ایم ایف: |
C4H3F7O |
|
میگاواٹ: |
200.05 |
|
آئینیکس: |
609-858-6 |
|
کیمیائی خصوصیات |
|
|
ابلتے ہوئے نقطہ |
56.2 ڈگری |
|
کثافت |
1.487 |
|
اضطراب انگیز اشاریہ |
1.276 |
|
مخصوص کشش ثقل |
1.487 |
|
سی اے ایس ڈیٹا بیس کا حوالہ |
406-78-0 (CAS ڈیٹا بیس کا حوالہ) |
|
ای پی اے مادہ رجسٹری سسٹم |
HFE-347PCF2 (406-78-0) |
|
ٹیسٹ آئٹمز |
وضاحتیں |
|
ظاہری شکل |
صاف بے رنگ مائع |
|
طہارت |
99.5 ٪ سے زیادہ یا اس کے برابر |
|
پانی |
100ppm سے کم یا اس کے برابر |
مور کے قانون کے ذریعہ کارفرما ، سیمیکمڈکٹر ویفر کی صفائی اب صرف گندگی - کو ہٹانے کے بارے میں نہیں ہے۔ HFE 347 جدید سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ چیلنجوں کے ذہین حل کی نمائندگی کرتا ہے ، جس میں گیلے صفائی کی تاثیر کو کامل اختتام - خشک پروسیسنگ کے نقطہ کے ساتھ ملایا جاتا ہے۔
ایک قابل اعتماد HFE سپلائر کی حیثیت سے ، ہم HFE 347 کو غیر معمولی اعلی طہارت اور بیچ - سے - بیچ مستقل مزاجی کے ساتھ فراہم کرتے ہیں ، اس بات کو یقینی بنانا کہ آپ کے ویفر کی صفائی کا عمل مستحکم ، قابل اعتماد اور موثر رہے۔ چاہے آپ اگلا - جنریشن چپس تیار کررہے ہو یا پروڈکشن لائن کی پیداوار کو بہتر بنا رہے ہو ، یہ ایک عمل پارٹنر ہے جس پر آپ انحصار کرسکتے ہیں۔
HFE ہائیڈرو فلوروئٹر HFE347 کے بارے میں مزید معلومات کے لئے آج ہی ہم سے رابطہ کریں!
ہمارا پتہ
کمرہ 1102 ، یونٹ سی ، سنجنگ سینٹر ، نمبر 25 جیاہ روڈ ، سمنگ ڈسٹرکٹ ، زیامین ، فوزان ، چین
فون نمبر
+86-592-5803997
E - میل
susan@xmjuda.com
