سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں پی ایف پی ای: یہ پلازما اینچنگ اور سی وی ڈی آلات میں کیسے کام کرتا ہے

سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کا عمل انتہائی صحت سے متعلق اور سخت آپریٹنگ حالات - اعلی ویکیوم ، سنکنرن گیسوں ، اور وسیع درجہ حرارت کے اتار چڑھاو - پر خاص طور پر پلازما اینچنگ اور کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) نظام پر انحصار کرتا ہے۔ یہ ماحول چکنا اور سگ ماہی کے حل کا مطالبہ کرتے ہیں جو جارحانہ کیمیکلز کا مقابلہ کرسکتے ہیں ، آلودگی کو روک سکتے ہیں ، اور طویل چکروں پر کارکردگی کو برقرار رکھتے ہیں۔ پرفلووروپولیتر (پی ایف پی ای) ویکیوم پمپ ، او - بجتی ہے ، اور والوز جیسے اہم اجزاء کے لئے سونے کے معیار کے طور پر ابھرا ہے ، جس سے بے مثال استحکام اور وشوسنییتا کی فراہمی ہوتی ہے جو براہ راست پیداوار اور سامان کے اپ ٹائم پر اثر انداز ہوتی ہے۔ ذیل میں ایک تفصیلی خرابی ہے کہ ان کلیدی ایپلی کیشنز میں پی ایف پی ای کس طرح کام کرتا ہے۔

ویکیوم پمپ پلازما اینچنگ اور سی وی ڈی سسٹم کی ریڑھ کی ہڈی ہیں ، جو گیس کی آلودگی کو روکنے اور یکساں پتلی -} فلم جمع یا عین مطابق مادی اینچنگ کو یقینی بنانے کے لئے الٹرا - اعلی ویکیوم لیول (10⁻⁶ PA تک کم) کو برقرار رکھنے کے لئے درکار ہیں۔ اعلی بخارات کے دباؤ اور کیمیائی عدم استحکام کی وجہ سے روایتی معدنی تیل یا مصنوعی چکنا کرنے والے یہاں ناکام ہوجاتے ہیں ، لیکن پی ایف پی ای کا انوکھا سالماتی ڈھانچہ ان اہم چیلنجوں کی نشاندہی کرتا ہے۔

آلودگی کے لئے کم بخارات کا دباؤ - مفت ویکیوم: PFPE کی مکمل طور پر فلورینیٹڈ ریڑھ کی ہڈی مضبوط C - f بانڈز تشکیل دیتی ہے جو اتار چڑھاؤ کو کم سے کم کرتی ہے {{1} 40 40 ڈگری پر اس کا بخار دباؤ عام طور پر 10⁻⁶ ٹور سے کم ہوتا ہے ، روایتی تیل سے 1000 گنا کم ہوتا ہے۔ یہ حساس ویفر سطحوں یا آپٹیکل اجزاء پر چکنا کرنے والے بخارات اور جمع کو روکتا ہے ، جو بصورت دیگر نقائص کا سبب بنتا ہے اور چپ کی پیداوار کو کم کرتا ہے۔ پلازما اینچنگ میں ، جہاں بھی آلودگیوں کا سراغ لگانے سے سرکٹ کے نمونوں میں ردوبدل ہوسکتا ہے ، پی ایف پی ای کے غیر - اتار چڑھاؤ کی نوعیت اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ ویکیوم چیمبر قدیم ہے۔

تناؤ کے تحت تھرمل اور کیمیائی استحکام: ویکیوم پمپ آپریشن کے دوران نمایاں گرمی پیدا کرتے ہیں ، جس میں درجہ حرارت اکثر 150 ڈگری سے زیادہ ہوتا ہے۔ پی ایف پی ای وسیع درجہ حرارت کی حد (-65 ڈگری سے 250 ڈگری) میں مستحکم واسکاسیٹی برقرار رکھتا ہے ، جو پمپ روٹرز اور بیئرنگ جیسے گھومنے والے اجزاء پر مستقل چکنا کرنے والی فلم کی موٹائی کو یقینی بناتا ہے۔ مزید برآں ، پلازما اینچنگ اور سی وی ڈی کے عمل سنکنرن گیسوں (جیسے ، فلورین ، کلورین ، امونیا) اور رد عمل والے پلازما کا استعمال کرتے ہیں جو معیاری چکنا کرنے والے مادے کو ہراساں کرتے ہیں۔ پی ایف پی ای کی کیمیائی جڑنی آکسیکرن اور سنکنرن کی مزاحمت کرتی ہے ، تیل کی خرابی ، کیچڑ کی تشکیل اور اس کے نتیجے میں پمپ کو پہنچنے والے نقصان سے گریز کرتی ہے۔

لمبی عمر کے لئے چکنا کرنے کا طریقہ کار: PFPE جسمانی جذب کے ذریعہ دھات کی سطحوں پر ایک پائیدار ، کم - رگڑ فلم تشکیل دیتا ہے ، جس سے پمپ شافٹ اور بیرنگ جیسے حرکت پذیر حصوں کے درمیان لباس کم ہوتا ہے۔ فلورینیٹڈ متبادلات کے برعکس جو کھرچنے والے ذرات پیدا کرسکتے ہیں ، پی ایف پی ای پمپ میٹریل (اسٹیل ، ایلومینیم ، سیرامکس) کے ساتھ مطابقت رکھتا ہے اور توسیعی خدمت کے وقفوں کے ل its اپنی چکنا کرنے والی خصوصیات کو برقرار رکھتا ہے - اکثر اہم پمپ اسمبلیوں میں "زندگی بھر کی چکنا" کو چالو کرتا ہے اور بحالی کے ڈاؤن ٹائم کو کم کرتا ہے۔

o ویکیوم چیمبرز ، گیس لائنوں ، اور آلات کے انٹرفیس میں ہوا سے چلنے والے مہروں کو برقرار رکھنے ، عمل گیسوں یا ماحولیاتی ہوا کی رساو کی روک تھام کے ل {- انگوٹھی اہم ہیں۔ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ، مہروں کو دوہری خطرات کا سامنا کرنا پڑتا ہے: عمل گیسوں سے کیمیائی حملہ اور بار بار سامان کی سائیکلنگ سے مکینیکل لباس۔ پی ایف پی ای نے دو اہم میکانزم کے ذریعہ او - رنگ کی کارکردگی کو بڑھایا:

 سطح کی چکنا اور اینٹی - آسنجن: O - بجتی ہے (اکثر FFKM یا PTFE سے بنی ہوتی ہے) اعلی درجہ حرارت یا دباؤ کے تحت ہم آہنگی کی سطحوں پر قائم رہ سکتی ہے ، جس کی وجہ سے سامان کھولنے/بند ہونے کے دوران مہر کو نقصان ہوتا ہے۔ PFPE - پر مبنی چکنا کرنے والے (عام طور پر PTFE کے ساتھ گاڑھا ہوا) O - رنگ کی سطح کو کم - رگڑ ، غیر - اسٹک فلم کے ساتھ رنگ کی سطح کوٹ کریں جو رگڑ کوفیفینس کو 50 ٪ تک کم کرتی ہے۔ یہ آسنجن کو روکتا ہے اور مکینیکل تناؤ کو کم کرتا ہے ، جس سے غیر منقولہ یا روایتی طور پر چکنا ہوا مہروں کے مقابلے میں O - رنگ کی زندگی کو 2–3 گنا بڑھاتا ہے۔

 مہر تحفظ اور کیمیائی رکاوٹ: فلورین اور ہائیڈروکلورک ایسڈ جیسی گیسوں کو وقت کے ساتھ O - رنگ کے مواد کو ہراساں کیا جاسکتا ہے ، جس کی وجہ سے سوجن ، کریکنگ یا لچک کا نقصان ہوتا ہے۔ پی ایف پی ای کی غیر فعال نوعیت ایک حفاظتی رکاوٹ کے طور پر کام کرتی ہے ، سنکنرن مادوں کو پسپا کرتی ہے اور انہیں O - رنگ میٹرکس میں داخل ہونے سے روکتی ہے۔ یہ مہر کے کمپریشن سیٹ اور لچک کو محفوظ رکھتا ہے ، ہزاروں عمل کے چکروں کے بعد بھی سگ ماہی کی مستقل کارکردگی کو یقینی بناتا ہے۔ سی وی ڈی سسٹم میں ، جہاں پیشگی گیسیں (جیسے ، سائلین ، ٹائٹینیم کلورائد) انتہائی رد عمل ہیں ، پی ایف پی - چکنا O - انگوٹھی گیس کے رساو کو روکتی ہے جو فلم کی یکسانیت سے سمجھوتہ کرسکتی ہے۔

والوز پلازما اینچنگ اور سی وی ڈی سسٹم میں پروسیس گیسوں ، پیشگیوں اور ویکیوم کے بہاؤ کو منظم کرتے ہیں ، جس میں عین مطابق ایکٹیویشن اور صفر رساو کی ضرورت ہوتی ہے۔ سخت آپریٹنگ حالات - سنکنرن میڈیا ، ہائی پریشر کے فرق ، اور بار بار سائیکلنگ {{2} a ایک ایسے چکنا کرنے والے کا مطالبہ کریں جو چکنا اور کیمیائی استحکام کو متوازن کرتا ہے۔

عین مطابق ایکٹیویشن کے لئے رگڑ میں کمی: والوز اسٹیم مہروں ، بال سیٹیں ، اور گیٹ میکانزم کا استعمال کرتے ہیں جن میں گیس کے بہاؤ کو درست طریقے سے کنٹرول کرنے کے لئے ہموار نقل و حرکت کی ضرورت ہوتی ہے۔ کم اور اعلی درجہ حرارت دونوں پر پی ایف پی ای کی کم واسکعثیٹی والو کے افتتاحی/بند ہونے کے دوران کم سے کم مزاحمت کو یقینی بناتی ہے ، جس سے یکساں اینچنگ یا جمع کرنے کے لئے عین مطابق بہاؤ کنٹرول کو قابل بناتا ہے۔ والو میٹریلز (پی ٹی ایف ای ، سٹینلیس سٹیل ، ایف ایف کے ایم) کے ساتھ اس کی مطابقت لاکھوں چکروں کے بعد بھی ، گیلنگ اور ضبط کرنے سے روکتی ہے۔

کیمیائی جڑنی اور آلودگی کی روک تھام: پلازما اینچنگ سسٹم میں والوز کو رد عمل پلازما اور ضمنی پروڈکٹس کے سامنے لایا جاتا ہے جو چکنا کرنے والے مادے کو ختم کرسکتے ہیں ، جس کی وجہ سے والو اسٹیکنگ یا رساو ہوتا ہے۔ پی ایف پی ای ان مادوں کے ذریعہ انحطاط کے خلاف مزاحمت کرتا ہے ، جس سے سنکنرن بائی پروڈکٹ کی تشکیل سے گریز کیا جاتا ہے جو عمل گیسوں کو آلودہ کرسکتے ہیں۔ مزید برآں ، اس کی نان - اتار چڑھاؤ کی نوعیت اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ کوئی چکنا کرنے والے بخارات گیس کے دھارے میں داخل ہوں ، جس سے وافر آلودگی کو روکا جاسکے۔ سی وی ڈی سسٹمز میں ، جہاں یہاں تک کہ ٹریس ناپاکی فلموں کی تشکیل کو تبدیل کرسکتی ہے ، عمل کی سالمیت کو برقرار رکھنے کے لئے پی ایف پی ای کا صاف عمل ضروری ہے۔

انتہائی چکروں میں لمبی - اصطلاح استحکام: سیمیکمڈکٹر والوز اعلی - تناؤ کے ماحول میں مسلسل کام کرتے ہیں ، جس میں درجہ حرارت - 40 ڈگری (چیمبر ٹھنڈا - نیچے) سے 200 ڈگری (پروسیسنگ کے دوران) سے ہوتا ہے۔ پی ایف پی ای کا تھرمل استحکام واسکاسیٹی خرابی یا استحکام کو روکتا ہے ، جو تمام آپریٹنگ مراحل میں قابل اعتماد چکنا کرنے کو یقینی بناتا ہے۔ اس سے غیر منصوبہ بند دیکھ بھال کو کم کیا جاتا ہے اور والو سروس لائف میں توسیع ہوتی ہے ، ایک اہم لاگت {{7} high اعلی حجم مینوفیکچرنگ کی سہولیات کے لئے فائدہ بچانا۔

پلازما اینچنگ اور سی وی ڈی عمل میں ، چکنا کرنے والے مادے اور سگ ماہی کے مواد کی کارکردگی سے سامان کی وشوسنییتا اور مصنوعات کے معیار پر براہ راست اثر پڑتا ہے۔ PFPE کا الٹرا - کم بخارات کا دباؤ ، کیمیائی جڑت ، وسیع درجہ حرارت رواداری ، اور کم رگڑ کا انوکھا امتزاج اس صنعت کی سب سے زیادہ تقاضوں کو پورا کرنے کے قابل واحد مواد بناتا ہے۔ روایتی چکنا کرنے والے مادوں کے برعکس جو آلودگی ، سنکنرن ، یا قبل از وقت ناکامی کا خطرہ ہیں ، پی ایف پی ای یقینی بناتا ہے:

 مستقل ویکیوم سالمیت اور عمل طہارت

 تنقیدی اجزاء کے لئے توسیع شدہ خدمت زندگی (پمپ ، والوز ، O - بجتی ہے)

 بحالی کے اخراجات اور ٹائم ٹائم میں کمی

 سیمیکمڈکٹر کلین روم کے معیارات (آئی ایس او کلاس 1–3) کی تعمیل